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山東力冠微電子裝備

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MPCVD長(zhǎng)晶爐

本設(shè)備主要是用于制備單晶金剛石。可激發(fā)高穩(wěn)定度的等離子團(tuán)，從而確保單晶生長(zhǎng)的持續(xù)性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。

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